НПО «Орион»

Производство

АО «НПО «Орион» разрабатывает и производит широкий ряд изделий фотоэлектроники: фотоприемники; многоэлементные, субматричные и матричные фотоприемные устройства; фотоэлектронные модули; формирователи сигналов изображения.

В «НПО «Орион» создаются условия для промышленного производства фокальных матриц второго и последующих поколений.

В состав АО «НПО «Орион» входят:

  • научно-технические центры, которые выполняют весь спектр работ от фундаментальных до прикладных исследований по наиболее актуальным направлениям современной фотоэлектроники;
  • опытно-производственная база, обеспечивающая создание фотоприемников (ФП) и фотоприемных устройств (ФПУ), микроэлектронных схем считывания, усиления и обработки сигналов, технологического оборудования для ионно-плазменной обработки поверхностей, нанесения тонкопленочных покрытий различного типа, ионного травления, электронно-лучевой сварки, перфорирования и профилирования разнородных материалов, а также прецизионного контрольно-измерительного оборудования;
  • центр физико-химических исследований.

Производство изделий фотоэлектроники новых поколений включает технологические переделы, начиная от производства исходных фоточувствительных полупроводниковых материалов на основе монокристаллических материалов, сложных эпитаксиальных и гетероэпитаксиальных структур до изготовления фоточувствительных элементов, больших интегральных схем считывания (БИС) мультиплексоров и, в целом, сборки и испытаний фотоэлектронных модулей и формирователей сигналов изображения.

Производство изделий фотоэлектроники включает:

  • технологии выращивания сложных гетероэпитаксиальных структур на основе узкозонных и широкозонных фоточувствительных полупроводниковых материалов, в том числе молекулярно-лучевую эпитаксию, прецизионную подготовку подложек, технологический контроль структурных и морфологических свойств поверхности подложек, контроль электрофизических свойств выращенных гетероструктур;
  • технологии формирования массивов фоточувствительных элементов и БИС обработки сигналов, в том числе: полировку полупроводниковых структур, химическую очистку поверхности, жидкостное химическое и химико-динамическое травление, металлизацию, осаждение диэлектрических пленок, ионную имплантацию, плазмохимическое и ионное травление, термодиффузионную обработку, фотолитографию, нанесение защитных и просветляющих покрытий, гибридизацию полупроводниковых структур холодной сваркой (методом флип-чип), технологический контроль полупроводниковых структур, измерение электрофизических и фотоэлектрических параметров полупроводниковых приборов и структур;
  • технологии монтажа и сборки фотоприемных устройств и стыковки с микрокриогенными системами охлаждения;
  • технологии автоматизированного проектирования топологий для изготовления фоточувствительных элементов и интегральных схем обработки сигналов;
  • технологии создания нестандартного компьютеризированного оборудования для изготовления, измерения и испытаний фотоприемников и фотоприемных устройств и интегральных схем обработки сигналов.

По ряду продуктовых групп технологии, разработанные АО «НПО «Орион», являются уникальными.