Измерительно-информационный комплекс МИМ-340

Уникальный микроскоп с технологией модуляционной интерференционной микроскопии

Лазерный измерительно-информационный комплекс МИМ-340 – это уникальный микроскоп, разработанный Холдингом «Швабе» с применением технологии модуляционной интерференционной микроскопии (МИМ) (разрешение – до 0,1 нм по вертикали (ось Z) и до 10 нм в плоскости XY).

Прибор является одним из лучших в мире микроскопом со сверхплоским длинноходовым координатным столом нанометрового разрешения и обладает широким спектром применения от медицины до точного машиностроения, оптической промышленности, материаловедения и авиационно-космической отрасли.

Важной особенностью МИМ является оригинальный алгоритм вычисления фазы отраженного от объекта волнового фронта, сочетающий в себе быстродействие шаговых методов и сверхразрешение фазометрических методов.

Главные преимущества МИМ-340:
- получение полного кадра размером 1280х1024 пикселей всего за 0,3 сек.,
- бесконтактность измерений, простота работы и метрологическая достоверность изменений,
- визуализация оптически анизотропной области микроструктуры размером менее 100 нм,
- регистрация нанодинамики и запись «нанокино».

Принцип действия микроскопа основан на совместном использовании оригинальных технологий лазерной микроскопии МИМ и аэромагнитных направляющих. Такое сочетание позволяет исследовать поверхность крупногабаритных (до 300х300 мм) объектов без потери координаты и фокуса.

Изделие способствует внедрению развития нанотехнологий, а также создает новые потенциальные возможности в решении научно-производственных задач.

По оценкам экспертов РОСНАНО микроскоп МИМ по разрешающим способностям является лучшим в мире оптическим микроскопом.

Характеристики микроскопа
Оптическое увеличение 1000 х
Поле зрения, мкм 7-150
Разрешение по вертикали, нм 0,1
Разрешение в плоскости XY, нм 100 - 10
Размер кадра, пикс. 1024 х 1024
Скорость съемки, кадр/сек 3 - 30
Источника света Лазер 405 нм
Характеристики предметного стола
Длина хода (X - Y - Z), мм 300x300x100
Результирующая точность, нм 150
Разрешение обратной связи, нм 100
Неплоскостность хода, нм 80
Непрямолинейность хода, нм 40
Скорость перемещения, мм/с До 100
Грузоподъемность, кг. 100
Вес, кг. 700

Методики исследований

Методика исследования линз

Методика исследования оптических зеркал

Контактная информация