Прибор является одним из лучших в мире микроскопов со сверхплоским длинноходовым координатным столом нанометрового разрешения и обладает широким спектром применения от медицины до точного машиностроения, оптической промышленности, материаловедения и авиационно-космической отрасли.
Важной особенностью МИМ является оригинальный алгоритм вычисления фазы отраженного от объекта волнового фронта, сочетающий в себе быстродействие шаговых методов и сверхразрешение фазометрических методов.
Главные преимущества МИМ-340:
- получение полного кадра размером 1280х1024 пикселей всего за 0,3 сек.,
- бесконтактность измерений, простота работы и метрологическая достоверность изменений,
- визуализация оптически анизотропной области микроструктуры размером менее 100 нм,
- регистрация нанодинамики и запись «нанокино».
Принцип действия микроскопа основан на совместном использовании оригинальных технологий лазерной микроскопии МИМ и аэромагнитных направляющих. Такое сочетание позволяет исследовать поверхность крупногабаритных (до 300х300 мм) объектов без потери координаты и фокуса.
Изделие способствует внедрению развития нанотехнологий, а также создает новые потенциальные возможности в решении научно-производственных задач.
По оценкам экспертов РОСНАНО микроскоп МИМ по разрешающим способностям является лучшим в мире оптическим микроскопом.
Характеристики микроскопа | |
Оптическое увеличение | 1000 х |
Поле зрения, мкм | 7-150 |
Разрешение по вертикали, нм | 0,1 |
Разрешение в плоскости XY, нм | 100 - 10 |
Размер кадра, пикс. | 1024 х 1024 |
Скорость съемки, кадр/сек | 3 - 30 |
Источника света | Лазер 405 нм |
Характеристики предметного стола | |
Длина хода (X - Y - Z), мм | 300x300x100 |
Результирующая точность, нм | 150 |
Разрешение обратной связи, нм | 100 |
Неплоскостность хода, нм | 80 |
Непрямолинейность хода, нм | 40 |
Скорость перемещения, мм/с | До 100 |
Грузоподъемность, кг. | 100 |
Вес, кг. | 700 |